电弧-磁控复合沉积TiSiN涂层及其切削性能研究*

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更新时间：2025-10-30

- 电弧-磁控复合沉积TiSiN涂层及其切削性能研究*
- Aeronautical Manufacturing Technology Vol. 56, Issue 14, Pages: 72-77(2013)
- 作者机构：
  
  山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
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  CLC：
- Published：2013
- 稿件说明：
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李士鹏，邓建新，闫光远，程宏伟. 电弧-磁控复合沉积TiSiN涂层及其切削性能研究*[J]. 航空制造技术, 2013, 56(14): 72-77.

[J]. Aeronautical Manufacturing Technology, 2013, 56(14): 72-77.
李士鹏，邓建新，闫光远，程宏伟. 电弧-磁控复合沉积TiSiN涂层及其切削性能研究*[J]. 航空制造技术, 2013, 56(14): 72-77. DOI：

[J]. Aeronautical Manufacturing Technology, 2013, 56(14): 72-77. DOI：

本文通过电弧离子镀-中频磁控溅射复合沉积的方法，采用独立的纯Ti靶和纯Si靶在YS8硬质合金基体上制备了TiSiN涂层。并研究了其化学含量、微观结构、硬度，以及切削45淬火钢时的切削性能，对TiSiN涂层刀具的市场应用具有积极的推动作用。

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