动态性能结构紧凑的XY直线电机运动平台

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动态性能结构紧凑的XY直线电机运动平台

更新时间：2025-10-30

- 动态性能结构紧凑的XY直线电机运动平台
- Aeronautical Manufacturing Technology Vol. 56, Issue 20, Pages: 137(2013)
- 作者机构：
  
  Aerotech
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  CLC：
- Published：2013
- 稿件说明：
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Aerotech. 动态性能结构紧凑的XY直线电机运动平台[J]. 航空制造技术, 2013, 56(20): 137-137.

[J]. Aeronautical Manufacturing Technology, 2013, 56(20): 137.
Aerotech. 动态性能结构紧凑的XY直线电机运动平台[J]. 航空制造技术, 2013, 56(20): 137-137. DOI：

[J]. Aeronautical Manufacturing Technology, 2013, 56(20): 137. DOI：

摘要

Aerotech现已推出一款新型 X-Y直线电机平台。该公司报道称，此款平台具有业界领先的动态性能且结构紧凑，适用于直线度和平面度均至关重要的应用。Planar DL系列包括九种不同的行程和性能配置以支持范围宽广的应用，例如，半导体和LED晶圆的表面轮廓和高速划线。其应用包括：半导体制造、电子设备制造（LEDs）、测试与检测、激光加工、金属检测、微细加工、纳米技术、医疗、试验室。

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