SiC热防护涂层制备工艺研究

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SiC热防护涂层制备工艺研究

更新时间：2025-10-30

- SiC热防护涂层制备工艺研究
- Aeronautical Manufacturing Technology Vol. 57, Issue 15, Pages: 90-92(2014)
- 作者机构：
  
  中航复合材料有限责任公司
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2014
- 稿件说明：
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陈明伟，邱海鹏，焦健，李秀倩，王宇，谢巍杰. SiC热防护涂层制备工艺研究[J]. 航空制造技术, 2014, 57(15): 90-92.

[J]. Aeronautical Manufacturing Technology, 2014, 57(15): 90-92.
陈明伟，邱海鹏，焦健，李秀倩，王宇，谢巍杰. SiC热防护涂层制备工艺研究[J]. 航空制造技术, 2014, 57(15): 90-92. DOI：

[J]. Aeronautical Manufacturing Technology, 2014, 57(15): 90-92. DOI：

摘要

基于热力学理论分析和化学气相沉积工艺特点，设计了CVD-SiC工艺流程，进而在石墨基体上制备了SiC涂层。对涂层进行了SEM 及XRD 分析，考察了反应温度和体系压力对涂层形貌和结构的影响。研究表明，较低的体系压力有利于在较低的温度下制备高纯度的SiC涂层，在优化工艺条件下（n（H2）/n（MTS）=10，p=10kPa，t=1100℃）制备的SiC涂层结构致密，表面呈球形颗粒状，沿(111) 面择优取向生长。

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