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Aerotech
纸质出版:2013
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Aerotech. 动态性能结构紧凑的XY直线电机运动平台[J]. 航空制造技术, 2013, 56(20): 137-137.
Aerotech. 动态性能结构紧凑的XY直线电机运动平台[J]. 航空制造技术, 2013, 56(20): 137-137. DOI:
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Aerotech现已推出一款新型 X-Y直线电机平台。该公司报道称,此款平台具有业界领先的动态性能且结构紧凑,适用于直线度和平面度均至关重要的应用。Planar DL系列包括九种不同的行程和性能配置以支持范围宽广的应用,例如,半导体和LED晶圆的表面轮廓和高速划线。其应用包括: 半导体制造、电子设备制造(LEDs)、测试与检测、激光加工、金属检测、微细加工、纳米技术、医疗、试验室。
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