氮化钼基硬质涂层研究进展

张国光; 李春; 方前锋; 刘庆; 杨俊峰

doi:10.16080/j.issn1671-833x.2009.22.004

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氮化钼基硬质涂层研究进展

学术论文 | 更新时间：2025-10-30

- 氮化钼基硬质涂层研究进展
- Development of MoN-Based Hard Coating
- 航空制造技术 2009年52卷第22期页码：83-85
- 作者机构：
  
  1. 南昌航空大学材料科学与工程学院
  2. 中国科学院固体物理研究所内耗与固体缺陷研究室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.16080/j.issn1671-833x.2009.22.004
  中图分类号：
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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张国光，李春，方前锋，刘庆，杨俊峰. 氮化钼基硬质涂层研究进展[J]. 航空制造技术, 2009, 52(22): 83-85,91.

Development of MoN-Based Hard Coating[J]. Aeronautical Manufacturing Technology, 2009, 52(22): 83-85.
张国光，李春，方前锋，刘庆，杨俊峰. 氮化钼基硬质涂层研究进展[J]. 航空制造技术, 2009, 52(22): 83-85,91. DOI： 10.16080/j.issn1671-833x.2009.22.004.

Development of MoN-Based Hard Coating[J]. Aeronautical Manufacturing Technology, 2009, 52(22): 83-85. DOI： 10.16080/j.issn1671-833x.2009.22.004.

摘要

利用直流反应磁控溅射技术，使用Mo 与C、Si、Al、W 的复合靶，在不锈钢和硅（100）衬底上分别制备了MoCN、MoSiN、MoAlN、MoWN 涂层。利用XRD、XPS、SEM、HRTEM 方法分析了薄膜的微观结构，利用纳米压痕技术和热重分析法测试了薄膜的硬度和抗氧化性能。研究结果表明，通过纳米复合化和固溶强化，可以大幅度提高MoN 基硬质薄膜的硬度和抗氧化温度，说明MoN 基硬质涂层具有较好的综合性能，可望在航空工业中得到广泛应用。

Abstract

The MoCN

MoSiN

MoAlN

and MoWN coatings are synthesized on the substrates of stainless steel or silicon (100) with reactive magnetron sputtering method by using Mo

Al and W composite target. The microstructure of these fi lms were analyzed by XRD XPS SEMand HRTEM

and the hardness and oxidation resistance of these fi lms are characterized by nano-indentation and TGA. The results illustrate that the hardness and oxidation resistance of the MoN-based fi lms can be greatly enhanced through the nano-composite method and solid solution strengthening. Therefore

MoN-based hard coatings possess good comprehensive performance and would be applied widely in the aviation industry.

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