针对微晶玻璃材料研磨加工引入的亚表面损伤层

综合使用磁流变抛光斑点技术和HF酸差动化学蚀刻速率法测量亚表面裂纹层深度和亚表面残余应力层厚度，针对微晶玻璃材料抛光加工引入的亚表面损伤，采用蚀刻台阶高度变化率法对其进行了准确测量。基于研磨、抛光产生的亚表面损伤深度准确检测的基础上，提出一种超低亚表面损伤复合加工工艺。将复合工艺与传统工艺加工试件的亚表面损伤深度进行了对比，试验结果表明，复合工艺对亚表面损伤抑制效果非常明显，试验证实了提出的复合工艺可以实现微晶玻璃超低亚表面损伤加工。